Разрешение - 0,2 нм по осям X, Y, 0,01 нм по оси Z;
перемещение детектирующей системы - источник света / оптический рычаг / детектор;
непрерывное освещение кантилевера лазерным диодом, даже при смене образца;
фотодетектор;
сканер с трубчатым пьезоэлектрическим приводом, диапазоны сканирования:
